Interactive map

1
Entrance
2
Office
3
Gowning room
4
Etching
5
Corridor
6
Thin film deposition
7
Liquid chemistry
8
Lithography
9
Metrology
10
Scanning Probe Microscopy
11
Ellipsometry

Air preparation
Vibrodefence precision equipment
Special Gases
Ultrapure water

News
Open Doors Day at FMN Lab
Команда центра приглашает студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана на День открытых дверей