ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
Новости и события
Разработан процесс лазерной литографии 1 мкм разрешения с применением позитивного резиста MEGAPOSIT SPR955-CM толщиной 1.7 мкм (США).
В рамках проекта «Наноплазмоника» разработана серия технологических процессов формирования многослойных металл-оксидных структур для изготовления перспективных интегрированных на кристалл линий передачи информации на основе плазмонных эффектов.
Poly (p-xylylene) silver Nanocomposites: Optical, Radiative, and Structural Properties
Микроманипуляторы позволяют расширить сферу применения сканирующего электронного микроскопа ультравысокого разрешения Zeiss.
Сущность изобретения заключается в том, что способ определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям наноэлектронного резонансно-туннельного диода...
Оформлена заявка на патент «Конструктивная схема автомобильного термоэлектрического генератора с теплообменником изменяемой геометрии».
Подана заявка на изобретение «Способ неразрушающего контроля качества теплового контакта термоэлектрического модуля».
В декабре 2016 г. получен патент на изобретение «Термоэлектрический генератор в выпускной системе отработавших газов двигателя внутреннего сгорания» № 2606300 с приоритетом.
В статье приведены результаты исследований деградации наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур вследствие диффузии составляющих их элементов.
В НОЦ ФМН введена в эксплуатацию полуавтоматическая зондовая станция MPI TS 2000 SE компании MPI Corporation (Тайвань)
В рамках реализации составной части проекта Фонда перспективных исследований по исследованию технологических методов воспроизводимого изготовления многокубитных сверхпроводящих схем разработана технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al
Испытания макета ТЭГ проводились на моторном стенде на основе V-образного шестицилиндрового двигателя Nissan VQ35HR рабочим объемом 3,5 л и максимальной мощностью 232 кВт.
В рамках проекта «Наноплазмоника» разработан процесс формирования нанокристаллических серебряных пленок со средним размером кристаллита менее 20 нм методом электронно-лучевого испарения.
В НОЦ ФМН разработан процесс фотолитографии с применением негативного резиста SU-8 толщиной до 50 мкм. Разработаны технологическая операция нанесения толстых 50 мкм пленок резиста SU-8 с неравномерностью толщины ±5% (3σ) по 100 мм кремниевой пластине...
В рамках проекта «Наноплазмоника» разработан процесс формирования серебряных пленок электронно-лучевым испарением, для которых при толщине 100 нм более 85% площади занята кристаллитами размером более 500 нм.
В статье приводится исследование возможности применения резонансно-туннельного диода (РТД) для выпрямления ВЧ сигналов микроваттной мощности.
В статье рассматриваются задачи технической диагностики РТД на основе наноразмерных многослойных AlGaAs гетероструктур
В рамках внутреннего инициативного проекта по разработке технологии формирования оптических волноводов для применения в изделиях нанофотоники (устройства связи и передачи информации, интерферометры, однофотонные детекторы и т.п.).
Публикация на тему «Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике»
Изготовлены первые образцы «лабораторий-на-чипе» с интегрированными клапанами на основе многослойной PDMS-технологии