Участие в VIII Российской студенческой научно-технической конференции "Вакуумная техника и технология"

17 апреля 2017 года

Сотрудники НОЦ ФМН выступили со следующими докладами:

НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СЕРЕБРА ДЛЯ ИЗДЕЛИЙ НАНОПЛАЗМОНИКИ, ОСАЖДЕННЫЕ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ИСПАРЕНИЯ

При изготовлении различных устройств наноплазмоники (субдлиноволновые волноводы, низкопороговые нанолазеры, ультра высокочувствительные сенсоры, коммутационные элементы и др.) в тонких металлических пленках необходимо сформировать структуры с нанометровыми размерами: массивы отверстий или наночастиц, волноводы, кольца и др. Примером таких структур может служить конструкция наноразмерного источника когерентного излучения в видимой области спектра – “спазера” (“spaser”), который представляет собой подложку из кварца и сплошную серебряную пленку с номинальной толщиной 100 нм и заданными оптическими параметрами, на которой сформирован периодический массив отверстий. Одной из основных проблем изготовления таких структур является анизотропия травления на границах зерен тонких пленок металлов, которая приводит к искажению геометрии отверстий и, как следствие, существенному снижению добротности всего устройства. Для минимизации этого явления разработана технология формирования пленки серебра с наименьшим размером кристаллитов в рамках допуска.

Габидуллин А.Р., Москалeв Д.О., Моисеев К.М., Бабурин А.С., Родионов И.А., Рыжиков И.А.

ИЗУЧЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖКИ СЛЮДЫ НА ХАРАКТЕР РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК СЕРЕБРА

Серебро на сегодняшний день является наиболее предпочтительным плазмонным материалом из-за его минимальных оптических потерь среди всех металлов и наибольшей длины пробега плазмона в видимом и ближнем ИК диапазонах. Структура и шероховатость тонких пленок серебра напрямую влияют на оптические потери, которые складываются из потерь на рассеяние электронов на дефектах структуры и переходах в энергетической структуре, и потерях на рассеяние самих электромагнитных колебаний на неоднородностях границ раздела. В настоящее время наилучшие оптические характеристики получены для монокристаллических пленок. Поэтому большой интерес вызывает разработка технологии эпитаксиального роста пленок серебра, обладающих малой шероховатостью (~ 1 нм). Наилучшим образом для такого роста подходит подложка из слюды (мусковита), так как она имеет монокристаллическую структуру и согласованную с серебром постоянную решетки. Обработка поверхности подложки во многом задает характер роста тонких пленок, однако на данный момент нет устоявшегося режима обработки поверхности подложек слюды для получения сплошной монокристаллической пленки серебра толщиной менее 100 нм. Целью работы является исследование влияния режимов предварительной термической обработки подложки слюды на характер роста пленки серебра.

Москалeв Д.О., Бабурин А.С., Габидуллин А.Р., Панфилов Ю.В., Родионов И.А., Рыжиков И.А.