ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
Новости и события
Изготовлены первые функциональные суб-100 нм структуры
11 декабря 2015 года
В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур
Получены первые тестовые структуры с разрешением 10 нм
16 октября 2015 года
Получены первые структуры с разрешением 10 нм с применением установки электронно-лучевой литографии VOYAGER
Завершены квалификационные испытания и введена в эксплуатацию система распределения специальных газов
12 октября 2015 года
Совместно с российскими и немецкими партнерами завершены квалификационные испытания и введена в эксплуатацию система распределения специальных газов НОЦ ФМН
Запущена станция водоподготовки
29 июля 2015 года
Совместно с немецкими партнерами проведена сборка и пуско-наладка станции водоподготовки НОЦ ФМН
Завершена сертификация чистокомнатных помещений
17 июля 2015 года
Совместно с российскими и швейцарскими партнерами проведена сертификация чистокомнатных помещений НОЦ ФМН
В РФ дан старт проекту в области наноплазмоники
4 февраля 2014 года
По результатам выполнения проекта будут изготовлены сенсоры, обладающие чувствительностью к взрывчатым и опасным веществам на уровне единичных молекул.