
Новое созвездие российской наноиндустрии: ZEISS ORION NanoFab в МГТУ им. Н.Э. Баумана
Впервые в стенах российской лаборатории запущено в эксплуатацию уникальное оборудование – гелиево-неон-галлиевый ионный нанофаб