Исследование влияния параметров технологического процесса литографии на минимальные критические размеры элементов, получаемых на кремниевой пластине.
Родионов И.А.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 219-224.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 243-249.
Анализ динамики развития современного оборудования проекционной литографии.
Родионов И.А.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 210-216.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 174-178.
Фотолитография в ультрафиолетовом диапазоне длин волн.
Родионов И.А.
8-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2006». 19-20 апреля 2006 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2006, с. 127-135.
Исследования методов демпфирования для защиты РЭА от вибрационных воздействий.
Родионов И.А.
7-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2005». 20-21 апреля 2005 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2005, с. 247-252.