Оптимизация плотности заполнения топологии слоев СБИС, направленная на повышение стабильности технологического процесса химико-механической планаризации.
Проектирование СБИС с учетом возможностей технологического процесса.
Родионов И.А.
11-ая Молодежная международная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2009». 15 апреля 2009 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2009, с. 135-137.
Исследование влияния введения ОРС фигур на параметры полупроводниковых структур с размерами элементов 0,25 мкм.
Родионов И.А.
10-ая Молодежная международная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2008». 16 апреля 2008 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008, с. 115-120.
Исследование процесса распределения температуры на поверхности кремниевой пластины в процессе формирования фоторезистивной пленки.
Родионов И.А.
10-ая Молодежная международная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2008». 16 апреля 2008 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008, с. 108-114.