Публикации

Фотолитография толстых слоев пленочного фоторезиста в полуаддитивной технологии изготовления плат силовых модулей

2015

Боброва Ю.С., Андроник М., Китаев И.В., Щербаков В.И.

Наноинженерия. - 2015. - № 9 .- С.8-13.

Авторы

О возможности контроля величины радиального зазора сферических аэростатических подшипников по кривой выбега

2014

Пошехонов Р.А., Лапшин В.В.

Труды Ежегодной XXVI Международной Инновационно-ориентированной конференции молодых ученых и студентов

Авторы

Ударная диагностика аэростатического шпиндельного узла со сферическими опорами

Пошехонов Р. А., Лапшин В. В., Захаревич Е. М., Кирьянов В. П.

Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. Журн.№7(2014)

Авторы

Экспериментальное исследование прецизионного шпиндельного узла со сферическими аэростатическими опорами и защитным алмазоподобным покрытием

Пошехонов Р.А., Лапшин В.В, Скворцова М.А

НАНОТЕХНИКА №2 (38) 2014. С. 68-73.

Авторы

Технологическая оптимизация гибридных и монолитных интегральных схем СВЧ

Агасиева С.В., Леушин В.Ю., Мешков С.А., Попов В.В., Макеев М.О.

24-я Международная Крымская конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2014) 7-13 сентября 2014 г., Севастополь, Крым, Россия. Т. 2. С. 661-662

Авторы

Technological optimization of the microwave hybrid and monolithic integrated circuits

Agasieva S.V., Leushin V.Yu., Meshkov S.A., Popov V.V., Makeev M.O.

CriMiCo 2014 - 2014 24th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, Conference Proceedings (Sevastopol, Crimea, Russia, 2014). P. 661-662

Авторы

Технология радиочастотной идентификации с пассивными метками в инвазивной биосенсорике

Иванов Ю.А., Гудков А.Г., Агасиева С.В., Мешков С.А., Синякин В.Ю., Макеев М.О.

24-я Международная Крымская конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2014) 7-13 сентября 2014 г., Севастополь, Крым, Россия. Т. 2. С. 1063-1064

Авторы

Radio frequency indentification technology with passive tags in invasive biosensor systems

Ivanov Yu.A., Gudkov A.G., Agasieva S.V., Meshkov S.A., Sinyakin V.Yu., Makeev M.O.

CriMiCo 2014 - 2014 24th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, Conference Proceedings (Sevastopol, Crimea, Russia, 2014). P. 1063-1064

Авторы

Оценка стойкости к диффузионной деструкции AlAs/GaAs наноразмерных гетероструктур резонансно-туннельных диодов с помощью ИК-спектральной эллипсометрии

Макеев М.О., Иванов Ю.А., Синякин В.Ю., Мешков С.А., Агасиева С.В., Шашурин В.Д.

24-я Международная Крымская конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2014) 7-13 сентября 2014 г., Севастополь, Крым, Россия. Т. 2. С. 754-755

Авторы

Assessment of resistance of AlAs/GaAs nanoscale heterostructures of resonant-tunneling diodes to diffusion destruction by means of IR-spectroscopic ellipsometry

M.O. Makeev, Yu.A. Ivanov, V.Yu. Sinyakin, S.A. Meshkov, S.V. Agasieva, V.D. Shashurin.

CriMiCo 2014 - 2014 24th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, Conference Proceedings (Sevastopol, Crimea, Russia, 2014). P. 754-755

Авторы

Уменьшение шероховатости подложек AlN с предварительной механической обработкой ионным травлением

Доброносова А. А., Макарова Ю. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М.

Сборник конференции «Студенческая весна 2014: Машиностроительные технологии»

Авторы

Уменьшение шероховатости подложек AlN ионной обработкой

Доброносова А. А., Макарова Ю. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М.

Сборник конференции «Студенческая весна 2014: Машиностроительные технологии»

Авторы

Отработка режимов технологических источников установки МВТУ-11-1

Бабурин А.С., Моисеев К.М, Ю. Н. Смирнов, А. А. Доброносова

Материалы конференции «Вакуумная наука и техника»

Авторы

Уменьшение шероховатости подложек AlN ионной обработкой

Бабурин А.С., Доброносова А. А., Моисеев К.М

# 03, март 2014, "Наука и Образование"

Авторы

Формирование функциональных тонкопленочных покрытий на установке ВУП-11М для микрокоммутационных модулей

Д.Д. Васильев, К.М. Моисеев, Ю.С. Макарова, А.Р. Габидуллин

Материалы конференции, 21 научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника"

Авторы

Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА50 на установке МВТУ-11-1

Бабурин А.С., Макарова М. В., Моисеев К.М

Сборник тезисов «Студенческая весна 2015». – М.: МГТУ им. Баумана, 2015.

Авторы

Отработка режимов технологических источников установки МВТУ-11-1

Бабурин А.С., Доброносова А. А. , Ю. Н. Смирнов, Моисеев К.М

Материалы конференции «Вакуумная наука и техника», М.: – М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014.

Авторы

Проблемы повышения адгезии меди к конструкционному фоторезисту SU-8 и методов её измерения

Бабурин А.С., Васильев Д.Д. , Моисеев К.М

Сборник тезисов «Высокие технологии». – М.: МГТУ им. Баумана, ЦНИТИ Техномаш, 2014.

Авторы

Исследование режимов травления источника ионов с холодным катодом с анодным слоем в высоком вакууме

Ю. Н. Смирнов, Бабурин А.С., Доброносова А. А., Моисеев К.М

Сборник тезисов конференции «Будущее машиностроения». – М.: МГТУ им. Баумана, 2014.

Авторы

УПРОЧНЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ПУТЕМ НАНЕСЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ СЕПАРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО РАЗРЯДА

Осипков А.С., Миронов Ю.М., Степанов Р.О.

В сборнике: Лазеры в науке, технике, медицине ХХV Международная конференция, сборник научных трудов

Авторы