Исследование влияния введения ОРС фигур на параметры полупроводниковых структур с размерами элементов 0,25 мкм.
Родионов И.А.
10-ая Молодежная международная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2008». 16 апреля 2008 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008, с. 115-120.
Исследование процесса распределения температуры на поверхности кремниевой пластины в процессе формирования фоторезистивной пленки.
Родионов И.А.
10-ая Молодежная международная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2008». 16 апреля 2008 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008, с. 108-114.
Исследование влияния параметров технологического процесса литографии на минимальные критические размеры элементов, получаемых на кремниевой пластине.
Родионов И.А.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 219-224.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 243-249.
Анализ динамики развития современного оборудования проекционной литографии.
Родионов И.А.
9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 210-216.