История
В июне 2014 года команда приступила к строительству. Проектирование и строительство чистых помещений и инфраструктурных систем проведены с привлечением ведущих специалистов из западных компаний-партнеров. На начальных этапах строительство велось в круглосуточном режиме.
Параллельно в период с января по август 2014 года сотрудники НОЦ ФМН посетили с рабочими визитами более 20 ведущих мировых научно-исследовательских центров и производственных предприятий в Великобритании, Сингапуре, Швеции, Дании, Германии, Швейцарии и Японии с целью ознакомления с опытом проектирования и строительства ведущих лабораторий мира, а также применяемыми технологическим, метрологическим и инфраструктурным оборудованием.
В тот же период (январь — август 2014 года) на основе анализа ведущих мировых лабораторий и проведенного экспериментального сравнения (на заводах изготовителях) выбрано технологическое и метрологическое оборудование центра.
2015 год
В начале года стартовала установка конструкций чистых помещений и танка жидкого азота.
Параллельно в период с января по август 2014 года сотрудники НОЦ ФМН посетили с рабочими визитами более 20 ведущих мировых научно-исследовательских центров и производственных предприятий в Великобритании, Сингапуре, Швеции, Дании, Германии, Швейцарии и Японии с целью ознакомления с опытом проектирования и строительства ведущих лабораторий мира, а также применяемыми технологическим, метрологическим и инфраструктурным оборудованием.
В тот же период (январь — август 2014 года) на основе анализа ведущих мировых лабораторий и проведенного экспериментального сравнения (на заводах изготовителях) выбрано технологическое и метрологическое оборудование центра.
Проведен монтаж станции подготовки деионизованной воды, трубопроводов систем оборотного охлаждения, воздуховодов, технологических вытяжек и линий сверхчистых газов.
Успешно завершены строительство, пуско-наладочные работы и введение в эксплуатацию чистых производственных помещений общей площадью более 600 м2, а также уникальных инфраструктурных подсистем: то, что менее года назад казалось невыполнимым, стало пройденным этапом.
В октябре 2015 года завершены подключение и приемо-сдаточные испытания новейшего технологического и метрологического оборудования. Многие единицы технологического и метрологического оборудования - это новейшие модели установок, выпущенных на рынок в 2014-2015 годах, ведущих мировых компаний в сегменте R&D.
В октябре 2015 года в НОЦ ФМН изготовлены первые тестовые наноструктуры с разрешением 10 нм, а уже в декабре 2015 года изготовлены первые суб-100 нм функциональные структуры и изделия в соответствии с планами выполняемых НИОКР. В этом же году НОЦ ФМН начал свою деятельность с технологической поддержки исследований более чем 100 студентов, аспирантов и ведущих научных групп Университета и партнеров.